塵埃粒子計數器的校正方法
 
一、校正所需設備
1、100級潔凈房或潔凈臺
2、一臺用于作對比，尚在校正期內的塵埃粒子計數器
3、各粒徑的標準粒子
4、產(chǎn)生脫離水(DI水)的純水系統或類(lèi)似裝置
5、標準粒子氣體產(chǎn)生器
6、其它普通電器
二、校正的基本原理
標準粒子通過(guò)255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內置泵通過(guò)0.2um的過(guò)濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路，這時(shí)，將兩臺相同塵埃粒子計數器同時(shí)或先后對取樣管進(jìn)行抽樣測試，并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以?xún)龋J為合格。如果不同型號的粒子計數器，一要弄清楚其流速，取樣時(shí)間，取樣次數等參數，并且，還要明白怎樣理解其測試結果。塵埃 
三.、校正的基本步驟：
現假設對一臺常見(jiàn)的Royco HH200作校正
1、先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM(立方英尺/分鐘)，而Royco HH200則為0.1CFM。
2、將潔凈臺開(kāi)機，工作半小時(shí)，其間內也打開(kāi)Royco 323和Royco HH200，讓其預熱半小時(shí)。
3、準備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。
4、將配好的標準液(如0.301um)放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過(guò)噴嘴。
5、設置Royco323和Royco HH200的基本參數
(1)取樣時(shí)間都設置為00：01：00
(2)取樣次數都設置03
(3)取樣模式都設置為Auto
(4)間隔時(shí)間都設置為00：00：05
(5)讀數模式都設置為Cumulative
注：以上設置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測試結果會(huì )是Royco HH200的10倍。
6、打開(kāi)255電源，調節脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調至噴嘴閥處呈氣霧出現，干燥氣體流速計約60SCFH時(shí)后，保持其工作狀態(tài)。
7、讓Royco 323和Royco HH200同時(shí)工作，看其三次的平均結果，若在20%以?xún)龋暈楹细瘛?/span>
8、拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復該測試。
9、以上校正只是對比校正，尚用萬(wàn)用表對其基本參數測量，用示波器對其信號捕捉等來(lái)輔助調校。